يقدم هذا الجزء من المواصفة القياسية للأيزو والتقرير الفني ISO/TR 14999 مصطلحات وتعريفات وعلاقات مادية وفنية أساسية لقياسات التداخل للجبهة الموجية الضوئية وشكل سطح المكونات الضوئية. ويشرح هذا الجزء لماذا تكون بعض مبادئ بنية واستخدام مقاييس التداخل، هامة بسبب طبيعة موجة الجبهة الموجية المراد قياسها. بما أن جميع الموجات باستثناء الموجات المسطحة شديدة التمدد- تقوم بتغيير شكلها عند الانتشار -فإن هذا الجزء من المواصفة القياسية للأيزو والتقرير الفني ISO/TR 14999 يتضمن أيضًا بعض المعلومات الأساسية حول انتشار الموجات. ومن الناحية العملية، يمكن إجراء مقاييس التداخل ويتم إجرائها بالفعل بواسطة استخدام أنواع مختلفة من التهيئة؛ ويحدد هذا الجزء من المواصفة القياسية للأيزو والتقرير الفني ISO/TR 14999 الضبط الأساسي لتداخل شعاعين. تم وضع الصيغة الرياضية للأمواج الضوئية بمنطق سعة الموجة المركبة وكذلك على أساس معادلات تداخل إشعاعين، بغرض شرح المبادئ المستمدة عن معلومات المرحلة الناتجة عن قياس توزيع الكثافة، سواء في الوقت أو المساحة. قد تؤثر كل من الأخطاء العشوائية والمنتظمة في نتائج مقاييس التداخل وفي أنواع الأخطاء لتكون متباينة بشكل واضح وبالتالي تم وصفها هنا في هذا الجزء من المواصفة القياسية للأيزو والتقرير الفني ISO/TR 14999.